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        產品列表 / products

        日本ULVAC CFB-1200F風冷復合分子泵技術資料

        更新時間:2015-12-28 點擊量:1024

        一、產品簡介

                CFB-F系列風冷復合分子泵的性能與復合分子泵一樣,適用于沒有水源且環境溫度不高的地方,或經常移動的排氣機組等。

         

        二、產品特點

                復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應;由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

         

        三、主要性能指標

         

        型號

        CFB-1200F

        訂貨號

        3165

        3166

        進氣口法蘭

        LF200

        CF200

        排氣口法蘭

        KF40

        抽氣速率

        L/s

        1200

        壓縮比N2/H2

        1×109/1×104

        極限壓強

        Pa

        5×10-7

        8×10-8   

        電機轉速

        rpm

        24000

        啟動時間

        min

        <5

        振動值

        μm

        ≤0.1

        前極泵

        L/s

        8-15

        冷卻方式

        (環境溫度<37℃)

        泵體烘烤溫度

        <120

        加熱器功率

        W

        <600

        加熱器輸入電壓

        V

        AC220

        安裝方向

        垂直±5°

        重量

        kg

        ~35

         


        四、特性曲線及安裝尺寸

         

        CFB系列風冷復合分子泵安裝尺寸表

         

        型號規格

        CFB-1200F

        高真空法蘭

        LF200

        CF200

        D1

        Ф240

        Ф253

        D2

        Ф267

        Ф267

        D3

        □167.6

        □167.6

        L1

        142

        142

        L2

        152

        152

        H1

        467

        467

        H2

        70

        70

        H3

        178.5

        178.5

        H4

        151

        151

        泵腿螺釘孔

        4-M8

        4-M8

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