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        產品列表 / products

        日本ULVAC 羅茨泵技術資料

        更新時間:2015-12-28 點擊量:1330

        羅茨泵與油旋片真空泵、水環泵組合用,可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設計的。 

        特長 
        結凈的真空 
        腔體內沒有潤滑油,對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。 
        能在高吸入壓強下運轉 
        選用比標準電機容量大一級的電機,即可實現在高吸入壓強下的運轉。 

        用途 
        照明、電子、光學、半導體鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐分析儀器、檢漏設備,CO2激光設備

         

                機 型

        NB100A

        NB300A

        NB600A

        NB1200A

        項 目

        抽氣速率*3

           m3/h(L/min)

        50Hz

        95(1580)

        280(4670)

        500(8330)

        1000(16667)

        60Hz

        115(1920)

        330(5500)

        600(10000)

        1200(20000)

        zui大吸入壓力      Pa

        (連續運轉時)      

        50Hz

        1.3×103

        1.2×103

        1.3×103

        60Hz

        1.3×103

        9.3×102

        1.1×103

        zui大允許壓力差    Pa

        (排出壓力-吸入壓力)   

        50Hz

        8.0×103

        4.0×103

        7.3×103

        60Hz

        6.7×103

        3.3×103

        6.0×103

        極限壓力          Pa*1

        4.0×10‐1

        6.7×10‐1

        標準粗抽泵

        GLD-N280

        VDN301

        VDN401

        VSN1501

        VSN2401

        VSN1501

        VSN2401

        電    機          kW (極) *2 *4

        0.4(2)

        0.75(2)

        2.2(2)

        3.7(2)

        V-Hz

        380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz

        使 用 油

        ULVOIL® R-4

        所需油量          L

        0.35

        0.70

        1.50

        1.90

        冷卻水量          L/min*6

        空 冷

        2 *5

        2

        3

        進水壓力          MPa

         

        0.3

         

        進出水壓差        MPa

        0.05

        0.1

        重    量          kg

        24

        49

        77.5

        110

        吸氣口徑 (JIS B 2290)

        相當 VG50

        相當 VG80

        相當VG80

        相當VG100

        排氣口徑 (JIS B 2290)

        相當VF50

        相當VF80

        相當VF80

        相當VF80

               

         

        *1  用皮拉尼真空計測量的值,如用麥氏真空計測量,則為4.0×10-2Pa(3.0×10-4Torr),而NB1200A則為6.7×10-2Pa(5.0×10-4Torr)。

        *2  電源為AC380V、50Hz、三相。

        *3  隨粗抽泵的性能而變化,表中為標準泵的組合的數據。

        *4  NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機。

        *5  對于530Pa(4Torr)以下可用空冷,但530Pa(4Torr)以上進行連續運轉必須用水冷。

        *6  冷卻水溫為5~30℃。

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